當前位置：BOE清洗機
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產(chǎn)品名稱：BOE清洗機
功能簡介：用于PVD工藝PSG和氧化硅的去除
工藝流程：酸洗→水洗→預脫水→烘干
設(shè)備特點：支持MES、RFID及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實現(xiàn)簡單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑；清洗干凈徹底
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產(chǎn)品名稱 |
BOE清洗機 |
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型號 |
KSBOE |
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適用工藝路線 |
TOPCON |
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功能簡介 |
用于PVD工藝PSG和氧化硅的去除 |
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工藝流程 |
酸洗→水洗→預脫水→烘干 |
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適用硅片尺寸 |
182x182mm、可兼容18X-230 硅片多種尺寸 |
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花籃數(shù)量 |
4、6籃 |
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產(chǎn)能 |
182:≥16000片/小時;210:≥12500片/小時 |
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碎片率 |
硅片厚度≥130um，碎片率<0.01% |
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功率/電壓 |
295KW/380V 50Hz3 相5線制 |
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設(shè)備特點 |
支持MES、RFID及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實現(xiàn)簡單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑；清洗干凈徹底 |