當(dāng)前位置：RCA繞鍍清洗機
產(chǎn)品名稱：RCA繞鍍清洗機
功能簡介：用于LPCVD\PECVD繞鍍多晶硅的去除
工藝流程：去繞鍍→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→預(yù)脫水→烘干
設(shè)備特點："支持MES、RFID及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實現(xiàn)簡單快速換液; 工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑；去繞鍍、清洗干凈徹底"
|
產(chǎn)品名稱 |
RCA繞鍍清洗機 |
|
型號 |
KSRCA |
|
適用工藝路線 |
TOPCON |
|
功能簡介 |
用于LPCVD\PECVD繞鍍多晶硅的去除 |
|
工藝流程 |
去繞鍍→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→預(yù)脫水→烘干 |
|
適用硅片尺寸 |
182x182mm、可兼容18X-230 硅片多種尺寸 |
|
花籃數(shù)量 |
4、6籃 |
|
產(chǎn)能 |
182:≥16000片/小時;210:≥12500片/小時 |
|
碎片率 |
硅片厚度≥130um，碎片率<0.01% |
|
功率/電壓 |
295KW/380V 50Hz3 相5線制 |
|
設(shè)備特點 |
"支持MES、RFID及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實現(xiàn)簡單快速換液; 工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑；去繞鍍、清洗干凈徹底" |