當(dāng)前位置：單晶堿拋光清洗機(jī)
產(chǎn)品名稱：?jiǎn)尉A拋光清洗機(jī)
功能簡(jiǎn)介：對(duì)硅片表面進(jìn)行拋光處理
工藝流程：預(yù)清洗→拋光→后清洗→酸洗→預(yù)脫水→烘干
設(shè)備特點(diǎn)：支持MES、RFD及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單快速換液；工藝根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑，拋光效果好
|
產(chǎn)品名稱 |
單晶堿拋光清洗機(jī) |
|
型號(hào) |
KSSDE |
|
適用工藝路線 |
TOPCON、HJT、XBC等 |
|
功能簡(jiǎn)介 |
對(duì)硅片表面進(jìn)行拋光處理 |
|
工藝流程 |
預(yù)清洗→拋光→后清洗→酸洗→預(yù)脫水→烘干 |
|
適用硅片尺寸 |
182x182mm、可兼容 18X-230 硅片多種尺寸 |
|
花籃數(shù)量 |
4、6籃 |
|
產(chǎn)能 |
182:≥16000片/小時(shí);210:≥12500片/小時(shí) |
|
碎片率 |
硅片厚度≥130um，碎片率<0.01% |
|
功率/電壓 |
310KW/380V 50Hz3 相5線制 |
|
設(shè)備特點(diǎn) |
支持MES、RFD及選配在線稱重功能；在線一鍵洗配槽，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單快速換液；工藝根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)；適配多品牌添加劑，拋光效果好 |