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用于PE-POLY路線石墨舟的清洗處理

用于硼擴(kuò)磷擴(kuò)LPCVD等石英舟石英管的清潔處理

配置進(jìn)口的臭氧水濃度檢測(cè)儀；可以進(jìn)行1拖多模式，每路單獨(dú)控制濃度；

手動(dòng)實(shí)驗(yàn)清洗設(shè)備，提供試驗(yàn)線產(chǎn)品定制服務(wù)